從1到100，“新技術(shù)”究竟如何轉(zhuǎn)化為“芯產(chǎn)品”？

當(dāng)“半導(dǎo)體”和“中試”兩個(gè)產(chǎn)業(yè)相遇，又會(huì)擦出怎樣的火花呢？

打造華南地區(qū)最大的半導(dǎo)體超凈平臺

“晶圓加工、氧化、光刻、檢測……”坐落在南海獅山的廣東中科半導(dǎo)體微納制造技術(shù)研究院（以下簡稱“廣東微納院”）的半導(dǎo)體微納加工中試平臺內(nèi)，一批技術(shù)人員正在設(shè)備前操作，通過中試將新產(chǎn)品轉(zhuǎn)變?yōu)榭尚∨可a(chǎn)的“芯產(chǎn)品”。

工作人員正在進(jìn)行設(shè)備調(diào)試。/企業(yè)供圖

所謂“中試”，就是把處在試制階段的新產(chǎn)品，轉(zhuǎn)化到批量生產(chǎn)的試生產(chǎn)階段，也被稱為科技成果轉(zhuǎn)化的“最后一公里”。而中試平臺的誕生，無疑給半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供了“充足的燃料和助推器”。

作為國家重點(diǎn)鼓勵(lì)發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)一直以來備受關(guān)注，但由于培育周期長、制造產(chǎn)線前期投入大、硬件配套設(shè)施要求嚴(yán)苛等眾多難點(diǎn)，導(dǎo)致產(chǎn)業(yè)發(fā)展受到諸多限制。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈大致可劃分為上游芯片設(shè)計(jì)、中游芯片制造、下游封裝測試三部分。其中，芯片制造這一核心環(huán)節(jié)，對生產(chǎn)工藝和制造設(shè)備精度的要求極高，固定資產(chǎn)投資巨大，這也成為了中小微企業(yè)搭建產(chǎn)品中試線的“攔路虎”。

“半導(dǎo)體產(chǎn)線運(yùn)營其實(shí)就像一個(gè)大心臟，需要健全的配套設(shè)施支撐才能運(yùn)轉(zhuǎn)，像平臺一期硬件建設(shè)就需投入約8億元?！睆V東微納院常務(wù)副院長王輝介紹，目前平臺已打通MEMS傳感器芯片制造中試線，建有2.3萬㎡潔凈實(shí)驗(yàn)室，配備了先進(jìn)的光刻、鍍膜、刻蝕等各類工藝設(shè)備及晶圓加工、檢測設(shè)備；另外特種氣體、雙回路高保障用電、酸堿廢水、廢氣處理等外圍配套設(shè)施也已完善。

半導(dǎo)體微納加工中試平臺灰區(qū)輔助設(shè)備。

“這個(gè)應(yīng)該是華南地區(qū)最大、配套最完善的一個(gè)實(shí)驗(yàn)型超凈平臺。像南海的綠展科技，就借助平臺進(jìn)行了產(chǎn)品技術(shù)轉(zhuǎn)化，形成的指紋鎖、電子面膜等一系列產(chǎn)品已投入市場化運(yùn)作?！?/p>

為超百家院校、企業(yè)提供專業(yè)化中試服務(wù)

平臺之所以能成為佛山首批獲授牌的中試平臺之一，除了健全的設(shè)備和完善的配套設(shè)施外，更注重“服務(wù)”二字。

目前，傳統(tǒng)的芯片代工企業(yè)，多服務(wù)于具有大批量生產(chǎn)需求的客戶，難以為單個(gè)、或小批量加工產(chǎn)品的初創(chuàng)企業(yè)提供服務(wù)。

而半導(dǎo)體微納加工平臺恰恰是為初創(chuàng)企業(yè)解決了這一痛點(diǎn)。

除了最基礎(chǔ)的委托加工外，平臺還能提供聯(lián)合研發(fā)、封裝測試、產(chǎn)線共建、人才培養(yǎng)、超凈場地等全流程服務(wù)。其中，在晶圓加工方面，可為單個(gè)產(chǎn)品、或芯片單步工藝進(jìn)行技術(shù)服務(wù)。

在超凈場地方面，則預(yù)留了一部分超凈場地給企業(yè)入駐；讓企業(yè)在組建生產(chǎn)線的過程中，只需購置少量專屬設(shè)備以滿足芯片個(gè)性化生產(chǎn)需求，其余通用性的設(shè)備、超凈場地、場務(wù)團(tuán)隊(duì)以及水電氣等各種配套設(shè)施均由平臺提供，真正實(shí)現(xiàn)“輕資產(chǎn)”運(yùn)營。

入駐企業(yè)人員正在進(jìn)行芯片刻蝕工藝。

“像現(xiàn)在洽談的一家生產(chǎn)紅外激光芯片產(chǎn)品的深圳企業(yè)——檸檬光子，就是在建產(chǎn)線過程中遇到了環(huán)評資質(zhì)的問題。無論是資質(zhì)還是設(shè)備，平臺均已配備，企業(yè)可以直接‘拎包入住’?！蓖踺x說到。

加快推動(dòng)佛山半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集聚

截至目前，在市、區(qū)、鎮(zhèn)各級政府的支持下，平臺已孵化引進(jìn)40余家企業(yè)，累計(jì)為超百家國內(nèi)院校、企業(yè)提供專業(yè)化中試服務(wù)。

佛山是全國重要的制造業(yè)基地，裝備制造、泛家居等產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢明顯，電子信息、機(jī)器人、新能源等新興產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展；這些產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展為半導(dǎo)體中試產(chǎn)業(yè)提供了廣闊的市場需求和應(yīng)用場景。

半導(dǎo)體微納加工中試平臺的黃光區(qū)內(nèi)，技術(shù)人員正在對晶圓進(jìn)行光刻。/企業(yè)供圖

展望未來，王輝希望能不斷提升平臺專業(yè)軟硬件條件，來支撐初創(chuàng)企業(yè)“輕資產(chǎn)、低門檻”前期發(fā)展，加快形成半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集聚。

“接下來，廣東微納院將加快推動(dòng)平臺二期建設(shè)，建成超3萬平米半導(dǎo)體潔凈載體，預(yù)計(jì)明年年中投入使用；并通過“南芯一期”半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)投資基金，逐步打造‘中試平臺+聯(lián)合研發(fā)+專業(yè)基金+專業(yè)載體+品牌活動(dòng)’的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈?！?/p>

制圖/岑敏枝

文、圖/佛山市新聞傳媒中心記者霍泳欣

編輯丨朱韻耀